TNSシステムズ合同会社

 
ホーム 組織概要 製品情報 お問合せ
ホーム 組織概要 お問合せ
製品情報
製品情報
 
製品情報

フォトン・エミッション顕微鏡 PEMS-1000

   

フォトン・エミッション顕微鏡 PEMS-1000(Photon Emission Microscope System)は、半導体デバイスやFPD等の動作に伴い発生する微弱な発光現象(ホットエレクトロン、リーク、ラッチアップ等による発光)を検出し、不良個所を素早く特定する故障解析装置です。故障箇所の特定が、高精度・短時間に行え、原因究明をスピードアップさせます。トップメーカーで使用される高感度冷却カメラ(C-CCD)に匹敵する性能の検出器を搭載しながら、高性能・低価格を実現したシステムとなっています。オプションとしてYAGレーザー薄膜加工装置を使用した配線カット/保護膜除去等を行う解析やマーキング、スペクトルメータによる発光箇所の分光解析が可能です。

資料請求ページ

製品情報 YAGレーザー薄膜加工装置 VL-Cシリーズ
   

YAGレーザー薄膜加工装置 VL-Cシリーズは、半導体の解析、FPDのリペア等の用途で幅広く使用されているYAGレーザーを搭載した薄膜加工装置です。ニーズに対応するため、高出力ならびに低出力の双方で安定した高品位のレーザー照射を可能としました。同種レーザー装置に比べ、下地や周辺への影響を大幅に低減し、従来と異なる材料にも高品位レーザー加工が可能です。
有機デバイス等のパターニングや、IC等のメタル配線カット、保護膜除去等、様々な用途で使用可能です。
発振波長は1064nm、532nm、355nm、266nmから選択可能で、発振波長によりヘッドが変わります。(最大で全波長発振可能) また、発振波長の追加のアップグレードも可能です。
また、X-Y-θスリットを標準装備し、加工時の使い勝手も向上しました。最小加工サイズは約1μm以下のスポットサイズとなります。(※対象物材質、下地、加工条件等により異なります。)
大出力のため、300μm角の範囲を、ステージ移動等を行わず、一度に加工することも可能です。
ラボ用の完全マニュアルタイプ、自動パターニングにも対応したセミオートタイプ等、ご要望に合わせてシステムアップ可能です。
プローバ(マニュアル/セミオート/オート/真空・極低温)への搭載も可能ですので、ご相談ください。

資料請求ページ

製品情報

YAGレーザー薄膜加工装置搭載 極低温/真空プローブ・システム

   

YAGレーザー薄膜加工装置は、各種プローバ(マニュアル、セミオート、オート、極低温/真空 等)に搭載が可能です。現有システムへの搭載も、弊社にて改造等を行い、可能な限り対応いたします。

この度、極低温/真空プローブ・システムで多くの実績を誇る ナガセ電子機器サービス株式会社殿にて、極低温/真空プローブ・システムへ弊社 YAGレーザー薄膜加工装置が搭載可能となる接続ユニットが開発されました。ナガセ電子機器サービス殿製プローバでは、極低温・真空環境下において、各種デバイスの基本特性とも言うべきI-V特性についても、従来では考えられなかったフェムトオーダーでの測定を可能にし、さらには非常に測定が困難なC-V特性、RF特性評価についても対応可能となっております。

 ・ナガセ電子機器サービス殿ホームページへのリンク

【画像提供:ナガセ電子機器サービス株式会社殿 GRAIL 10-LZ】

製品情報 Probe-Tec™シリーズ
XYZ-7 マイクロポジショナー
   

XYZの3軸に微調整用のノブを備え、プローブを任意の位置へ移動させプロービングを可能とする、低価格ポジショナーです。
 ・XYZ移動量:XYZ各7mm (0.6mm / 回転)
 ・分解能:10um (参考値)
 ・固定方式:切替式マグネット (オプション:バキュームチャック)
 ・同軸プローブ標準装備

*各社プローバで使用できるようにプローブアームを専用で製作いたします。また、簡易プローブユニット等の製作も可能です。

資料請求ページ

製品情報

Probe-Tec™シリーズ
共和理研社製プローバ用微小信号測定対応チャック

    共和理研社製4"マイクロプローバ(K-160シリーズ)用に設計・製作された、微小信号測定(IV/CV)用チャックユニットです。従来のチャック上に取り付けるだけで使用可能です。COAX、COAX-Quasi-Kelvin、Triax、Triax-Quasi-Kelvinタイプを用意しております。その他、ご要望に合わせて製作可能です。

資料請求ページ
製品情報
   
製品情報
製品情報
 
製品情報

フォトン・エミッション顕微鏡 PEMS-1000

製品情報 YAGレーザー薄膜加工装置 VL-Cシリーズ
 

フォトン・エミッション顕微鏡 PEMS-1000(Photon Emission Microscope System)は、半導体デバイスやFPD等の動作に伴い発生する微弱な発光現象(ホットエレクトロン、リーク、ラッチアップ等による発光)を検出し、不良個所を素早く特定する故障解析装置です。故障箇所の特定が、高精度・短時間に行え、原因究明をスピードアップさせます。トップメーカーで使用される高感度冷却カメラ(C-CCD)に匹敵する性能の検出器を搭載しながら、高性能・低価格を実現したシステムとなっています。オプションとしてYAGレーザー薄膜加工装置を使用した配線カット/保護膜除去等を行う解析やマーキング、スペクトルメータによる発光箇所の分光解析が可能です。

資料請求ページ

YAGレーザー薄膜加工装置 VL-Cシリーズは、半導体の解析、FPDのリペア等の用途で幅広く使用されているYAGレーザーを搭載した薄膜加工装置です。ニーズに対応するため、高出力ならびに低出力の双方で安定した高品位のレーザー照射を可能としました。同種レーザー装置に比べ、下地や周辺への影響を大幅に低減し、従来と異なる材料にも高品位レーザー加工が可能です。
有機デバイス等のパターニングや、IC等のメタル配線カット、保護膜除去等、様々な用途で使用可能です。
発振波長は1064nm、532nm、355nm、266nmから選択可能で、発振波長によりヘッドが変わります。(最大で全波長発振可能) また、発振波長の追加のアップグレードも可能です。
また、X-Y-θスリットを標準装備し、加工時の使い勝手も向上しました。最小加工サイズは約1μm以下のスポットサイズとなります。(※対象物材質、下地、加工条件等により異なります。)
大出力のため、300μm角の範囲を、ステージ移動等を行わず、一度に加工することも可能です。
ラボ用の完全マニュアルタイプ、自動パターニングにも対応したセミオートタイプ等、ご要望に合わせてシステムアップ可能です。
プローバ(マニュアル/セミオート/オート/真空・極低温)への搭載も可能ですので、ご相談ください。

資料請求ページ

製品情報

YAGレーザー薄膜加工装置搭載 極低温/真空プローブ・システム

製品情報 Probe-Tec™シリーズ
XYZ-7 マイクロポジショナー
 

YAGレーザー薄膜加工装置は、各種プローバ(マニュアル、セミオート、オート、極低温/真空 等)に搭載が可能です。現有システムへの搭載も、弊社にて改造等を行い、可能な限り対応いたします。

この度、極低温/真空プローブ・システムで多くの実績を誇る ナガセ電子機器サービス株式会社殿にて、極低温/真空プローブ・システムへ弊社 YAGレーザー薄膜加工装置が搭載可能となる接続ユニットが開発されました。ナガセ電子機器サービス殿製プローバでは、極低温・真空環境下において、各種デバイスの基本特性とも言うべきI-V特性についても、従来では考えられなかったフェムトオーダーでの測定を可能にし、さらには非常に測定が困難なC-V特性、RF特性評価についても対応可能となっております。

 ・ナガセ電子機器サービス殿ホームページへのリンク

【画像提供:ナガセ電子機器サービス株式会社殿 GRAIL 10-LZ】

XYZの3軸に微調整用のノブを備え、プローブを任意の位置へ移動させプロービングを可能とする、低価格ポジショナーです。
 ・XYZ移動量:XYZ各7mm (0.6mm / 回転)
 ・分解能:10um (参考値)
 ・固定方式:切替式マグネット (オプション:バキュームチャック)
 ・同軸プローブ標準装備

*各社プローバで使用できるようにプローブアームを専用で製作いたします。また、簡易プローブユニット等の製作も可能です。

資料請求ページ

製品情報

Probe-Tec™シリーズ
共和理研社製プローバ用微小信号測定対応チャック

製品情報
 
共和理研社製4"マイクロプローバ(K-160シリーズ)用に設計・製作された、微小信号測定(IV/CV)用チャックユニットです。従来のチャック上に取り付けるだけで使用可能です。COAX、COAX-Quasi-Kelvin、Triax、Triax-Quasi-Kelvinタイプを用意しております。その他、ご要望に合わせて製作可能です。

資料請求ページ
Copyright (C) 2007 TNS Systems LLC